Kapitalna oprema istraživačke grupe dr. M. Ivande:
1. Ramanov spektrometar Jobin-Yvon T64000 s COHERENT INNOVA 400 argonskim laserom
2. LPCVD sistem,
3. PVD – Varian,
4. Evaporator e-beam –Varian,
5. Pretražni elektronski mikroskop JEOL T300,
6. Difuzijska peć s 3 reaktora,
7. Elipsometar Rudolph Auto EL IV,
8. Difraktometar X-zraka za tanke filmove Siemens D 5000 (nije priklazan na slici).
Ostali mali instrumenti su: magnetronski rasprašivač – Polaron E 5000, kriostat sa zatvorenim krugom helija (10-300K), kriostat hlađen LN2 (70-650 K), visokotemperaturna peć za “in situ” mjerenja (300-1600 K), Linkam THMS 600 peć za hlađenje i grijanje uzoraka za mikro-ramanska mjerenja (85-600K), peć za sinteriranje i termičko aniliranje (300-1200 K), optički mikroskop Olympus BH, proba za mjerenja otpora u četiri točke, spajač aluminijskih i zlatnih žica, Zeissov interferometarski mikroskop za mjerenje debljine itd.
Kapitalna oprema grupe dr. M. Ristić:
1. Pretražni elektronski mikroskop s emisijom polja Jeol 7000F,
2. Mössbauerov spektrometar,
3. Difraktometar X-zraka ItalStructures APD2000,
4. FT-IR spektrometar PerkinElmer System 2000,
5. UV-VS-NIR spektrometar s integracijskom sferom.
Ostali mali instrumenti: Visokoenergetski kuglični mlin od Fritscha, ultrazvučni generator za sonokemiju, sušionik freeze-dryer od tvrtke HETO, itd.
Kapitalna oprema grupa dr. N. Radića:
1. Magnetronski rasprašivač CMS 18, (nabavljen 2006.)
Rasprašivački system KJLC CMS-18 za pripremu širokog spectra materijala (metala, poluvodiča, dielektrika, metastabilnih uzoraka itd.) u širokom intervalu sastava i struktura. Procesna komora osnovnog tlaka oko 10-8 mbar prilagođena je sa četiri TORUS®3 magnetrona, napajana sa četiri zasebna izvora snage – dva DC magnetrona (0,5 KW DC & 1,0 KW DC) + 2 RF magnetrona (2 x 600 W RF). Nosač supstrata prihvaća pločice dijametra do 6″. Svojstva: prilagodiva udaljenost mete do supstrata, rotacija (do 40 rpm), grijanje do 800°C ili hlađenje na temperaturu LN2 in situ, s DC ili RF naponom.
2. Difraktometar X-zraka za tanke filmove Siemens D 5000 (nije prikazan na slici).
Kapitalna oprema grupa dr. G. Baranovića:
1. Fourier transform infracrveni spektrometar (FTIR), ABB Bomem MB102.
